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Mahr 马尔 | Mahr 3D 共聚焦显微镜在微流控芯片技术中的应用

2025-04-03
来源: 朗拓智能
光学仪器

微流控芯片技术,是一种操控微尺度流体的技术,主要涉及亚微米级结构的运用 ,也被称为芯片实验室(Lab-on-a-Chip)。该技术将化学、生物以及药物分析流程中的样品制备、反应、分离、检测等一系列操作单元,整合在一块微米尺度的芯片上。凭借其微型化、集成化和自动化的优势,微流控芯片技术在药物制剂研发与生产、高通量药物筛选分析、生物传感器制造等生命科学研究领域得到了广泛应用,极大地推动了相关领域的技术革新与发展。

作为全球表面计量领域的先行者,马尔在微流控芯片技术领域积累了丰富的经验,特别是在微通道几何尺寸、表面光洁度和微型传感器3D形貌分析等方面。源自德国制造的MarSurf CM explorer 3D光学解决方案,能够精准契合微流控芯片技术领域对精密形貌测量的严苛需求。


马尔3D共聚焦显微镜 – MarSurf CM explorer 100

• 基于共聚焦逐层扫描原理的非接触式测量技术

• 2纳米的纵向分辨率

• 80纳米的横向分辨率

• 卓越的重复精度高达0.15纳米

• 快速测量并实现大范围自动3D拼接

• 超高动态性能,可同时测量金属,非金属和涂层表面

• 全电动大行程CNC平台,操作简单方便可实现自动化批量检测



马尔3D共聚焦显微镜 – 在微流控芯片中的测量参数

2D和3D 形貌几何分析

• 微观元器件检测

• 注入口和微通道连接检测

• 微通道宽度、深度、体积和面积等分析

• 压力传感器直径、间距和空间等分析• 3D数模比对


粗糙度测量分析 - 表面光洁度会影响流体的流通

• 浸湿

• 流量

• 表面张力(液滴形状)



应用案例

微流控芯片中的微通道3D形貌

可分析宽度、深度、角度和通道内粗糙度,平面度等参数

微流控芯片中的传感器3D形貌

可分析传感器曲率半径、PV、几何结构特征和3D数模比对等