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德国马尔Mahr MarSurf LD 260 粗糙度轮廓仪

MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 测量站在一开始的设备经验的基础上,又经过系统化的设计。各种应用中的测量任务越来越需要同时测量轮廓和粗糙度深度。测量仪器必须有很高的测量性能才能满足这些要求。亚纳米级分辨率和残余噪声 <20 nm Rz 只是一些基本要求。
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仪器详情
仪器参数
免费测样

Mahr马尔计量的先进技术实现一步完成轮廓和粗糙度测量。

MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 测量站在一开始的设备经验的基础上,又经过系统化的设计。

各种应用中的测量任务越来越需要同时测量轮廓和粗糙度深度。测量仪器必须有很高的测量性能才能满足这些要求。

亚纳米级分辨率和残余噪声 <20 nm Rz 只是一些基本要求。


产品信息


• 一步完成粗糙度和轮廓测量

• 高测量和定位速度可大幅减少测量时间

• 创新的测头系统解决方案

• 快速可靠的测杆更换,磁性支架同步检测测杆

• 长测量长度,高达260mm,测量行程 13 mm(100 mm 测杆长度)或 26 mm(200 mm 测杆长度)

• 模块结构,方便维护






Mahr马尔 计量的先进技术实现一步完成轮廓和粗糙度测量。

MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 测量站在一开始设备的经验的基础上,又经过系统化的设计。

各种应用中的测量任务越来越需要同时测量轮廓和粗糙度深度。测量仪器必须有很高的测量性能才能满足这些要求。

亚纳米级分辨率和残余噪声 <20 nm Rz 只是一些基本要求。


产品特点:

• 一步完成粗糙度和轮廓测量

• 高测量和定位速度可大幅减少测量时间

• 创新的测头系统解决方案

• 快速可靠的测杆更换,磁性支架同步检测测杆

• 长测量长度,高达260mm,测量行程 13 mm(100 mm 测杆长度)或 26 mm(200 mm 测杆长度)

• 模块结构,方便维护


MarSurf LD 260 技术参数
分辨率0.8 nm
扫描长度开始(X 方向)0.1 mm
扫描长度末尾(X 方向)260 mm
扫描长度 (Lt)0.1 - 260 mm
导块偏差0.10 µm / 60 mm

0.20 µm / 130 mm

0.40 µm / 260 mm

测量力 (N)0.5 mN 至 30 mN,可软件调整
测量速度0.02 mm/s 到 10 mm/s
Positioning speed X-axis min.0.02 mm/s
positioning speed X-axis max.200 mm/s
定位速度 (mm/s),X 轴0.02 - 200 mm/s
测头集成粗糙度和轮廓测头系统
测杆长度100 mm、150 mm、200 mm
重量(毛重)27.5 KG
测量范围 mm

13 mm(100 mm 测杆)

26 mm(200 mm 测杆)


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